Weiter geht die FIB-SEM-Analyse bis in den Nanobereich. So kann man auch dünnste Schichten bis zum Nanometer-Bereich untersuchen, ebenso dreidimensionale Modelle mit der Dragonfly Software erstellen - und das nahezu ohne Datenverlust.
Wie geht man bei der Analyse eines Bauteils vor - vor allem, wenn man zerstörungsfrei arbeiten will? Das geht über die Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA), die schnell und zerstörungsfrei die elementare Zusammensetzung eines Materials bestimmen kann. Das funktioniert bei einem breiten Spektrum an Materialien und kann auch Schichtdicke und die Analyse kleinster Proben ermöglichen - gerne im Labor später genauer ansehen!
Dr. Diana Mantel